Gouden Sputterend het Depositomateriaal van Au, Silve/Gouden PVD-Depositomachine, Geleidend Filmpvd Sputterend Systeem
Samenvatting: Het DPC Koper van het proces Directe Plateren is een geavanceerde het met een laag bedekken technologie die met leiden/halfgeleider/de elektronische industrieën wordt toegepast. Één typische toepassing is Ceramisch Uitstralend Substraat. Deposito van de kuiper het geleidende film op Aluminiumoxyde (Al2O3), AlN-substraten door PVD vacuüm het sputteren technologie, die met traditionele productie wordt vergeleken
methodes: DBC LTCC HTCC, veel lagere productiekost is zijn hoge eigenschap.
Het koninklijke technologieteam stond onze klant aan bij ontwikkelde met succes het DPC proces met PVD-het sputteren technologie.
Sleutelwoorden: Ceramische verzegelende delen, DPC proces, Koperpvd Sputterend systeem, LEIDENE Ceramische Spaanders met Kuiperplateren, Al2 O3, Ceramische de Kringsraad van AlN, Al2O3 Platen op leiden, Halfgeleider
Toepassingen van DPC:
· HBLED
· Substraten voor zonneconcentratorcellen
· Machtshalfgeleider verpakking met inbegrip van automobielmotorcontrole
· Hybride en elektrische automobiele energiebeheerelektronika
· Pakketten voor rf
· Microgolfapparaten
DPC Technologieprestaties
Diverse substraatmaterialen: Ceramisch (Al3O2, AlN), Glas, en Si
Eigenschappen:
Technische Beschrijvingen
1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan 9.0*10-5-beter Pa;
3. Het pompen neer - tijd: van ATM aan 1.0×10-3 Pa≤15-notulen (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Depositobron: Stuurden de sputterende kathoden van het Gencoamagnetron, boogkathoden, Ionenbron
5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel
6. Het verwarmen: van kamertemperatuur tot max. 500℃,
9. Ionenbron voor het proces van PECVD en van de PA PVD.
De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:
1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiameter: 1200mm
Binnenhoogte: 1500mm
1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304
Deur en flenzen SUS304
De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
1.3 kamerschild: SUS304
1.4 Weergevenvenster: 2 op deur
1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep (met inbegrip van knalpot)
1.6 deur: SUS304 materiaal
2. Ruwe bewerkings Vacuüm Pompend Systeem:
Vacuümpomp van de olie de roterende vin + Holdingspomp
3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem: Magnetisch Opschortings Moleculaire Pomp - 2 reeksen
4. Elektrocontrole en Verrichtings de Verrichtingssysteem van het Systeemplc+ Touche screen:
Leveranciers:
PLC: Mitsubishi + Touch screen (dat in China wordt gemaakt)
Elektronische Componenten: SCHNEIDER, OMRON.
Veiligheid die Systeem beschermen: Talrijke veiligheidskoppelingen om exploitanten en materiaal (water, huidig gas, temperatuur enz.) te beschermen
De deklaag verwerkt Systeem: Procesautomatisering & Controle.
4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype
4.2 voeding: DC/MF het sputteren macht + gelijkstroom-Boogmacht + Bias Voeding
4.3 het systeem van de depositocontrole
4.4 verrichtingssysteem: Touch screen + PLC, receptencontrole en gegevensregistreren, Autosluiting, autoevacuatie, autodeklaag
4.5 het meten van Systeem
Vacuümdruk: Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat + Volledige waaier vacuümmaat -- Het merk van Europa
Temperatuur meetinstrument: Thermokoppel
MFC: Het Controlemechanisme van de massastroom (4 manieren),
4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting
4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator
5. Depositosysteem
5.1 depositobron: Het sputteren cathodes+ Boogbronnen + Ionenbron
5.2 depositomateriaal: Koper, Aluminium, Chrome, Zilver, Goud, SS, Titanium enz.
6. Subsysteem
6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole
6.2 koelwatersysteem: De pijp van de waterstroom en het systeem van de schakelaarklep
7. Werkomgeving
Samengeperste Lucht: 5~8kg/cm2
Koelwater: Water-in Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in Druk: 2~3 kg/cm2,
Macht: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, gemiddelde machtsconsumptie: 60KW
Installatiegebied: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Uitlaat: Opening voor mechanische pompen
Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.